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快速退火炉的作用,快速退火炉详细介绍

文章作者:admin日期:2021-04-28 08:53:00
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快速退火炉是利用卤素红外灯做为热源,通过极快的升温速率,将晶圆或者材料快速的加热到300℃-1200℃,从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷,改善产品性能。快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

快速退火炉采用先进的微电脑控制系统,采用PID闭环控制温度,可以达到极高的控温精度和温度均匀性,并且可配置真空腔体,也可根据用户工艺需求配置多路气体。快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘


  • ·  中文名

  • 快速退火炉

  • ·  最高温度

  • 1200摄氏度

  • ·  升温速率

  • 150摄氏度/秒

  • ·  降温速率

  • 200摄氏度/分钟(1000摄氏度降到300摄氏度)

  • 温度精度

  • ±0.5摄氏度

  • 温控均匀性

  • ≤0.5%设定温度

  • 加热方式

  • 红外卤素灯,顶部加热

  • 真空度

  • 10mTorr以下

· 







产品特点

快速退火炉(芯片热处理设备)广泛应用在IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产,和欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力和致密化等工艺当中,通过快速热处理以改善晶体结构和光电性能,技术指标高、工艺复杂、专用性强。快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘


应用领域快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

1.快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);

2.离子注入/接触退火;快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

3.金属合金;快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

4.热氧化处理;快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

5.化合物合金(砷化镓、氮化物等);快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

6.多晶硅退火;快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

7.太阳能电池片退火;快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

8.高温退火;快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

9.高温扩散。快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘


设备说明快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

快速退火炉主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成。

真空腔室:真空腔室是快速退火炉的工作空间,晶圆在这里进行快速热处理。

加热室:加热室以多个红外灯管为加热元件,以耐高温合金为框架、高纯石英为主体。

进气系统:真空腔室尾部有进气孔,精确控制的进气量用来满足一些特殊工艺的气体需求。

真空系统:在真空泵和真空腔室之间装有高真空电磁阀,可以有效确保腔室真空度,同时避免气体倒灌污染腔室内的被处理工件。

温度控制系统:温度控制系统由温度传感器、温度控制器、电力调整器、可编程控制器、PC及各种传感器等组成。

气冷系统:真空腔室的冷却是通过进气系统向腔室内充入惰性气体,来加速冷却被热处理的工件,满足工艺使用要求。

水冷系统:水冷系统主要包括真空腔室、加热室、各部位密封圈的冷却用水。


硬件更换快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

1.加热灯管更换:加热灯管超过使用寿命或无法点亮时需进行更换。加热灯管的使用寿命为3000小时,高温状态下会降低其使用寿命。快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

2.真空泵油更换:在使用过程中,请每季度固定观察1次真空油表,当油表显示油量低于1/3时请添加真空泵润滑油到油表一半以上。快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

3.热电偶更换:当热电偶测温不正常或者损坏时需进行更换。热电偶的正常使用寿命为3个月,随环境因素降低其寿命。

4.O型圈的更换:O型圈表面有明显破损或者无法气密时需进行更换,其寿命受外力以及温度因素影响。


保养周期快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘



编号

项目

检查周期

零件或耗材

1

加热灯管

IR灯管

2

托盘表面擦拭

碳化硅材质

3

热电偶固定状态


4

石英板清理

季度


5

O型圈检查更换

季度


6

真空泵油

季度

MR100

7

导向轴承

季度

使用润滑油