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快速退火炉的主要技术、行业特点

文章作者:admin日期:2021-05-06 09:02:18
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行业特点:

芯片热处理设备(真空快速退火炉)广泛应用在IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产,和欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力和致密化等工艺当中,通过快速热处理以改善晶体结构和光电性能,具有技术指标高、工艺复杂、专用性强的特点。



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1、真空快速退火炉,有真空型号(10mTorr );快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

2、可加入多种气体使用,如惰性气体、氧气等;

3、控制方式:可编程控制器,人机界面控制,17英寸触摸屏;

4、可存储100个程序,每个程序最多分为100段控制;

5、全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置;

6、优异的温控均匀性,极佳的工艺重现性、可靠性;

7、配备定压模块,可稳定腔室压力;

8、信息记录:每个制程自动记录存档。


技术指标:

1、最高温度:1200摄氏度;

2、升温速率:150摄氏度/秒;

3、降温速度:200摄氏度/分钟 (1000摄氏度-->300摄氏度);

4、温度精度:±0.5℃;快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

5、温控均匀性:≤ 0.5%设定温度;

6、加热方式:红外卤素灯,顶部加热;

7、真空度:10mTorr以下。


设备说明:

真空快速退火炉主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成。

真空腔室:快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

真空腔室是真空快速退火炉的工作空间,晶圆在这里进行快速热处理。我司专利设计的真空腔室以专用合金为主体、高纯石英视窗为隔板,组成密闭空间。

加热室:

加热室以多个红外灯管为加热元件,以耐高温合金为框架、高纯石英为主体,包括专利设计的加热器固定装置和冷却装置确保了加热灯管在高功率工作时环境温度的适宜性,改善散热环境、提高产品性能、延长产品使用寿命。

进气系统:快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

真空腔室尾部有进气孔,精确控制的进气量用来满足一些特殊工艺的气体需求。独特设计的进气孔布局,可以确保进入工艺气体均匀的分布在被热处理工件上。

真空系统:

根据设备尺寸及真空度计算,选用进口真空泵机组。在真空泵和真空腔室之间装有高真空电磁阀,可以有效确保腔室真空度,同时避免气体倒灌污染腔室内的被处理工件。在管路上装有高真空检测装置,用来检测真空度。在管路上装有压力开关,用来监测压力,超出设定范围会自动报警。 快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

温度控制系统: 

温度控制系统由温度传感器、温度控制器、电力调整器、可编程控制器、PC及各种传感器等组成。采用17寸带触摸功能的显示器作为控制、监测窗口,可监测设备的加热功率、温度、水流量、气体流量、真空度等工况,可实时监视工艺过程曲线并具备存储功能。

气冷系统: 

本设备除了自然冷却方式之外,还具备强制冷却方式。加热元件冷却采用专利设计的冷却装置吹扫大量惰性气体在加热元件表面来降低加热元件的工作温度,提高性能和延长使用寿命。真空腔室的冷却是通过进气系统向腔室内充入惰性气体,来加速冷却被热处理工件,满足工艺使用要求。

水冷系统:

该设备水冷系统主要包括真空腔室、加热室、各部位密封圈的冷却用水。冷却水管路上装有水流量计,通过冷却水量的控制确保设备温度正常、安全。管路上还装有水温监测器,设有温度上下限,超出范围会自动报警。

 

产品服务:快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘

我司在设备维护性方面进行了大量创新,设备的后期保养维护的便利性和成本方面都有了大幅优化,可以为客户提供更优质的服务。快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘