1.在LED芯片生产中的作用：快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
能有效的提高晶圆的亮度（Lop）以及降低电压（Vf）；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
2. 产品特色：快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
多回路灯管设计保证温度均匀；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
安全监测，包括热偶测温检测、过热检测；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
简体文用户操作界面，使用非常简便；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
采用触摸式显示屏，在屏幕上可直接操作；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
软件全自动控制工艺过程，操作简单；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
菜单可编辑、工艺数据可记录。快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
3. 应用领域:快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
离子注入/接触退火；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
金属合金；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
热氧化处理；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
化合物合金（砷化镓、氮化物等）；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
多晶硅退火；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
太阳能电池片退火；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
高温退火；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
高温扩散。快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA
