半导体设备生产主管
岗位描述:
1、精密装配与制程实现:负责退火/键合设备的整机集成,重点管控真空腔体组装、加热灯管/激光模组安装、精密运动平台(BondHead)校准及气路/水冷管路的高洁净焊接与连接
2、热场与光学系统调校:组织并执行出厂测试(EQC),包括温度均匀性(TemperatureUniformity)校准、激光能量分布测试及晶圆对位精度验证,确保设备达到工艺窗口要求
3、NPI量产爬坡:主导从工程样机到量产的转移,编制针对热/光设备的专项SOP(如石墨件/陶瓷件拿取规范、光学镜头清洁标准),建立关键零部件(如特种灯管、静电吸盘E-Chuck)的追溯体系
4、良率与可靠性管理:分析生产端导致的工艺异常(如Particle超标、温控漂移、真空漏率),推动装配工艺改进,降低FTQ(首次通过率)缺陷
5、洁净室与环境控制:严格执行Class100/1000洁净室管理,管控微震、湿度对光学系统的影响,落实高温高压作业安全规范
岗位要求:
1、学历:本科(985)及以上,机械制造、机电一体化、真空技术相关专业
2、经验:3年以上高端设备装配经验,有半导体退火炉、CVD、PVD或量测设备(如ASML/AMAT/TEL/KLA等)生产经验者优先
3、技能:
1)熟悉真空获得与检漏技术(分子泵、干泵、氦质谱检漏)
2)熟悉精密机械装配(公差配合、形位公差、平面度刮研)
3)了解热电偶/Pyrometer(高温计)布线及基础温控逻辑
4)管理:具备生产排程、物料跟进能力,能承受晶圆厂交付压力